特征

HIWIN无铁心U型线性马达，具无磨耗零背隙且无顿力与低速度链波特性，加上动

定子间无吸引力。可替代安装平台不变形，轻载且需求连续运动曲线。例如：高速

轻载自动化设备，无尘环境的自动化设备，面板平板设备，光学检测设备，扫描式

电子显微镜设备，半导体设备，工具机线切割设备与凸轮车床设备。 

    •最大速度5 m / s

    •最大加速度5G

    •0.1 m / s补偿前的速度涟波波0.80％

    •无噪音0dB

    •直驱（无旋转运动的元件转换直线运动）