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关键零部件
次系统
系统集成
特征
晶圆搬运机器人具软硬体垂直整合优势,采用高精密、高刚性之直驱马达,重复精度可达到±0.1mm。且回转半径小,大幅提升空间使用率。支援非径向取放功能,末端可再选配马达驱动之模组实现翻转功能。
应用
晶圆搬运机器人适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。